导向精度、高导向精度指的是导轨运动轨迹的准确程度，它是导轨副的重要精度指标。运动件的实际运动轨迹与给定方向之间的偏差越小，那么导向精度就越高。影响导向精度的主要因素有:导轨承导面的几何精度、导轨的结构类型、导轨副的接触精度和表面粗糙度;导轨和支承件的刚度;导轨的油膜厚度和油膜刚度;导轨和支承件的热变形等。
导轨的几何精度一般包括导轨在垂直平面、水平平面内的直线度和两条导轨面间的平行度或两导轨面间横向某长度的扭曲值。精度要求可以用导轨全长上的误差△或单位长度上的误差S表示。
移动灵敏度和定位精度均高移动灵敏度(移动分辨率)指工件台完成一次移动能达到的较短距离，定位精度指工件台由运动状态停止在某一指定点的能力。移动灵敏度和定位精度与导轨的类型、摩擦特性、运动速度、传动刚度、移动件质量等因素有关。
——THK导轨
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